一種拋光組合物,包含有研磨劑;選自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸異丙酯、植酸和1-羥基亞乙基-1,1-焦磷酸中的至少一種酸;選自正磷酸、焦磷酸、多磷酸、偏磷酸、六偏磷酸、酸式磷酸甲酯、酸式磷酸乙酯、酸式磷酸乙二醇酯、酸式磷酸異丙酯、植酸和1-羥基亞乙基-1,1-焦磷酸中一種酸的鈉鹽、鉀鹽和鋰鹽中的至少一種鹽;氧化劑;以及水。
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