本發(fā)明涉及光生微波技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于微腔結(jié)構(gòu)的雙腔自注入一體化集成光生微波源系統(tǒng),其為一體化
芯片結(jié)構(gòu),包括三個(gè)芯片級(jí)集成單元:第一集成單元,其為有源器件,包括DFB激光器和高飽和功率光電探測(cè)器;第二集成單元,其為無源器件,包括基于硅襯底的鈮酸鋰薄膜調(diào)制器、鈮酸鋰環(huán)形回音壁廊微諧振器和CaF2回音壁廊諧振器;第三集成單元,其為集成電路芯片用以補(bǔ)償光電振蕩回路中的損耗并進(jìn)行相位匹配,包括移相器和電放大器;本發(fā)明所述系統(tǒng)能夠克服現(xiàn)有技術(shù)中自注入鎖定光生微波源信號(hào)穩(wěn)定差的問題,提出一種高超聲速精確打擊武器裝備對(duì)低相噪、可調(diào)諧、高頻率穩(wěn)定性小型化微波源。
聲明:
“基于微腔結(jié)構(gòu)的雙腔自注入一體化集成光生微波源系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)