石英管或
石墨坩堝鍍裂解碳裝置,它涉及一種鍍裂解碳裝置,本實(shí)用新型為解決生長(zhǎng)含鋰的半導(dǎo)體在溫度高于800℃時(shí),鋰揮發(fā)導(dǎo)致生長(zhǎng)單晶體用石英管內(nèi)壁發(fā)生嚴(yán)重腐蝕、甚至石英管破裂以及現(xiàn)有的石墨坩堝含有大量的孔隙導(dǎo)致表面粗糙、不利于生長(zhǎng)單晶體的問題。石英管沉淀管平放在加熱爐內(nèi)且管口設(shè)置在加熱爐外,石英管沉淀管內(nèi)的側(cè)壁設(shè)置有石英支架;將待鍍石墨坩堝設(shè)置在石英管沉淀管內(nèi)并通過石英支架支撐,沉淀管蓋緊密套裝在石英管沉淀管管口處的外壁上,第一進(jìn)氣管的一端穿過沉淀管蓋的第一蓋孔設(shè)置在待鍍石墨坩堝的底部。本實(shí)用新型用于在石英管或石墨坩堝上鍍裂解碳。
聲明:
“石英管或石墨坩堝鍍裂解碳裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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