本發(fā)明公開了一種獲取高品質(zhì)薄膜樣品X射線吸收譜的方法,在薄膜樣品的測量過程中,采用干式膠片曝光其單晶襯底所致衍射斑點(diǎn)后,通過鉛皮遮蔽曝光點(diǎn),阻止襯底所致的衍射信號進(jìn)入探測器,從而得到高品質(zhì)薄膜樣品X射線吸收譜。這種干式膠片由碳,氮,氧及微量的鋰元素構(gòu)成,有效原子序數(shù)在6-8之間,膠片厚度約為100-200微米,不會對硬X射線吸收譜測量帶來嚴(yán)重背底,特別是還可以和探測器中的濾光片集成,同時(shí)濾除由于入射光引起的散射效應(yīng)和薄膜樣品基底導(dǎo)致的衍射效應(yīng),從而,提供一種簡便有效的途徑,獲得薄膜樣品的高品質(zhì)X射線吸收光譜。
聲明:
“獲得高品質(zhì)薄膜樣品X射線吸收譜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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