本發(fā)明提供了一種保護(hù)型結(jié)構(gòu)硅氧復(fù)合薄膜及其制備方法與應(yīng)用。所述保護(hù)型結(jié)構(gòu)硅氧復(fù)合薄膜的制備方法包括的步驟有:將硅靶材在惰性氣體與氧氣的混合氣氛下進(jìn)行濺射處理,在基體上生長(zhǎng)硅氧復(fù)合薄膜,再在已有硅氧復(fù)合薄膜的基板上,將保護(hù)層材料靶材在惰性氣氛下進(jìn)行濺射處理。本發(fā)明制備的硅氧復(fù)合薄膜的硅氧復(fù)合薄膜具有界面電阻小的特性,而且可以減少和阻止電解液與硅氧復(fù)合之間的不可逆副反應(yīng),減少固體電解質(zhì)膜的產(chǎn)生,保持鋰離子嵌入/脫出過程中的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。所述薄膜保護(hù)層結(jié)構(gòu)及制備方法工藝簡(jiǎn)單,效果顯著,既提高了硅氧薄膜的庫倫效率和容量發(fā)揮,又增加了薄膜在循環(huán)過程中的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。
聲明:
“保護(hù)型結(jié)構(gòu)硅氧復(fù)合與薄膜及其制備方法與應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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