本發(fā)明提供了一種基于帶寬增強(qiáng)型FBAR濾波器的制造方法。在基體上預(yù)先刻蝕出呈對稱排布的空腔矩陣；在所述空腔矩陣內(nèi)通過沉積二氧化硅，并涂覆鈮酸鋰晶體薄膜，構(gòu)成布拉格反射層；在所述布拉格反射層上方設(shè)置呈蓋狀的底電極，覆蓋每個空腔，并在所述底電極上設(shè)置有與所述底電極材質(zhì)相同的支撐柱；在相鄰的底電極之間進(jìn)行氧化鋅直流磁控濺射，構(gòu)成氧化鋅層；其中，所述氧化鋅層的填充高度不超過所述蓋狀的底電極的上蓋面；在所述氧化鋅層上進(jìn)行制備介電層；其中，所述介電層通過氮化鋁沉積填充構(gòu)成；在所述介電層上通過直流磁控濺射鍍膜的方式構(gòu)成厚膜層，并在所述厚膜層上進(jìn)行光刻和蝕刻，構(gòu)成頂電極。