本發(fā)明公開了一種三(三烴基硅基)磷酸酯的合成方法，向反應(yīng)釜中加入六烴基二硅氧烷和磷酸，在加熱、攪拌和回流冷凝的條件下進行脫水反應(yīng)；然后加入三烴基硅基胺進行蒸餾反應(yīng)，待胺全部蒸出后，對反應(yīng)液進行減壓精餾，得到所述三(三烴基硅基)磷酸酯。本發(fā)明一種三(三烴基硅基)磷酸酯的合成方法，所用原料易得，且具有高轉(zhuǎn)化率和高收率的特點；本發(fā)明的合成方法工藝路線簡單、安全環(huán)保、消耗低，廢棄物排放量少，反應(yīng)得到的三(三烴基硅基)磷酸酯產(chǎn)品的純度高，達到鋰離子電解液添加劑的要求。