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彈性表面波裝置

786   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-19 00:04:00
本發(fā)明實現(xiàn)了一種具有優(yōu)異特性且制造容易的彈性表面波裝置。彈性表面波裝置(10)具備由鈮酸鋰構成的壓電基板(101)。在壓電基板(101)的表面上配列形成有多個槽(110)。在各槽(110)中形成有由銅構成的IDT電極(102)。IDT電極(102)由被埋入槽(110)中的第一電極層(102i)與從壓電基板(101)的表面突出的第二電極層(102o)構成。第一電極層(102i)的標準化電極膜厚Di在1.0%以上12.0%以下,第二電極層(102o)的標準化電極膜厚Do在1.0%以上9.0%以下。IDT電極(102)的整體的標準化電極膜厚D在6.0%以上13.0%以下。
聲明:
“彈性表面波裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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