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基于LBO晶體的266nm全固態(tài)紫外激光器

1168 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 00:04:01

一種基于LBO晶體的266nm全固態(tài)紫外激光器，包括用于對激光晶體的泵浦光源、光學耦合系統(tǒng)、1064nm諧振腔和腔外進行倍頻、和頻光路。1064nm諧振腔包括反射鏡、分束鏡、平凹鏡、激光晶體、聲光調制器和OC反射透鏡；腔外倍頻、和頻光路包括第一LBO晶體，第二LBO晶體、第三LBO晶體、第一聚焦透鏡，第二聚焦透鏡、第三聚焦透鏡和布魯斯特角等腰棱鏡。本發(fā)明的三硼酸鋰266nm固體激光器通過諧振腔內生成1064nm基頻光；利用LBO晶體進行腔外倍頻以及和頻，再利用色散原理分離和頻產生的532nm、355nm和266nm激光，并輸出266nm激光，光學模式和光斑質量較好。

聲明：

“基于LBO晶體的266nm全固態(tài)紫外激光器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)