亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 單面拋光超薄晶圓加工方法

單面拋光超薄晶圓加工方法

1073   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:04:02
本發(fā)明公開了一種單面拋光超薄晶圓加工方法,包括如下步驟:首先將黏著介質(zhì)涂布在第一片晶片的背面,另外一片晶片的背面與已經(jīng)涂好黏著介質(zhì)的晶片進(jìn)行背對(duì)背黏合,形成一片復(fù)合晶片,復(fù)合晶片的厚度具有原本單面拋光晶片兩倍的厚度,然后使用雙面拋光工藝對(duì)復(fù)合晶片進(jìn)行雙面拋光加工,加工完成后再將晶片之間的黏著介質(zhì)去除。本發(fā)明可以完全免除傳統(tǒng)工藝需要再透過單面粗化的作法才能得到高平坦度的晶片水準(zhǔn),以達(dá)到高產(chǎn)出、工藝簡化、成本降低的目的,解決了傳統(tǒng)加工工藝無法達(dá)到鉭酸鋰(LiTaO3;LT)晶片厚度<200um,平坦度在5mm2<0.5um,PLTV>95%穩(wěn)定產(chǎn)品品質(zhì)要求,且加工效率低,工藝復(fù)雜,生產(chǎn)成本高的問題。
聲明:
“單面拋光超薄晶圓加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
加工技術(shù)
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記