本發(fā)明公開了一種利用摻雜硅顆粒制備納米多孔硅的方法,該方法包括選用一定摻雜濃度的硅顆粒,氫氟酸清洗后,選用硝酸鹽、氫氟酸、氧化劑配制的溶液反應(yīng)并進(jìn)行超聲輔助,再經(jīng)離心清洗,最后通過稀硝酸清洗等后處理制備的三維納米多孔硅。本發(fā)明通過大量實(shí)驗(yàn)篩選出,最佳的化學(xué)刻蝕腐蝕劑的組成,反應(yīng)試劑的體積比和具體濃度,反應(yīng)時間、反應(yīng)溫度、超聲頻率及處理時間具體的反應(yīng)步驟等最佳工藝參數(shù),制備得到的高純度的三維摻雜多孔硅,孔形規(guī)則,布置均勻,可應(yīng)用于
鋰電池、
太陽能電池、半導(dǎo)體、傳感器等領(lǐng)域。本發(fā)明整個工藝可操作性強(qiáng),成本低廉,并且產(chǎn)量高,適合于工業(yè)化大生產(chǎn)。
聲明:
“利用摻雜硅顆粒制備納米多孔硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)