本發(fā)明涉及一種原子層沉積LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜的制備方法。本發(fā)明屬于
新能源材料技術(shù)領(lǐng)域。原子層沉積LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜的制備方法,通過原子層沉積方法生長LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜:只采用普通的原子層沉積設(shè)備,不需要等離子體發(fā)生器進行輔助或增強;ALD沉積過程中只采用兩種反應(yīng)前驅(qū)體源,其中一種為鋰前驅(qū)體源,另一種為磷和氮一體化前驅(qū)體源;在一定溫度下通過ALD生長制備LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜。本發(fā)明具有膜層厚度能實現(xiàn)原子層尺度級精確控制、工藝簡單、操作方便、離子電導(dǎo)率高等優(yōu)點。
聲明:
“原子層沉積LiPON固態(tài)電解質(zhì)薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)