一種檢查裝置,用于檢查移動(dòng)通信領(lǐng)域中用作高 頻濾波器的聲表面波器件。該裝置包含作為1次電子產(chǎn)生并投 射電子束的電子槍(1)、將電子束匯聚在襯底(9)上的聚光鏡(2)、 檢測(cè)由1次電子照射而從襯底(9)發(fā)射的2次電子的2次電子檢 測(cè)器(4)、支持襯底(9)的襯底支持件(5),以及進(jìn)行接地并且能 接觸金屬膜(7)的接地機(jī)構(gòu)(6)。接地機(jī)構(gòu)(6)包含能與金屬膜(7) 接觸的接觸部(12)、一端裝有接觸部(12)的臂部(47)和裝在臂部 (47)上與接觸部(12)相對(duì)的一端的旋轉(zhuǎn)軸(48)。襯底(9)具有雙 層結(jié)構(gòu),包括鉭酸鋰(LiTaO3)制成的圓形壓電襯底(8)和 該襯底(8)上的鋁金屬膜(7)。
聲明:
“聲表面波元件的制造方法和檢查裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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