本發(fā)明提供一種利用呈粉末形式的碘化鋰且通過叔胺催化,由三氯
硅烷制備某些硅烷前體化合物,例如三碘硅烷的方法。所述方法以高產(chǎn)率和高純度提供三碘硅烷。三碘硅烷是可用于將硅原子層沉積到各種微電子裝置結(jié)構(gòu)上的前體化合物。
聲明:
“三碘硅烷的制備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)