本發(fā)明是一種高頻表面聲波元件,尤指一種可通過調(diào)整其所具的納米鉆石膜層的厚度而輕易地調(diào)整其中心頻率的高頻表面聲波元件。本發(fā)明的高頻表面聲波元件包括:一硅基板;一納米鉆石膜層,是位于此硅基板之上;一壓電層,形成于此納米鉆石膜層的表面;一輸入轉(zhuǎn)換部;以及一輸出轉(zhuǎn)換部;其中,此輸入轉(zhuǎn)換部與此輸出轉(zhuǎn)換部成對地設(shè)置于此壓電層的表面或其下方。此外,前述的納米鉆石膜層的厚度較佳介于0.5ΜM至20ΜM之間,前述的壓電層的材質(zhì)較佳包括氧化鋅、氮化鋁或鈮酸鋰,壓電層的厚度則較佳介于0.5ΜM至5ΜM之間。
聲明:
“高頻表面聲波元件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)