本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體
工業(yè)廢水處理技術(shù)及回收利用工藝,其工藝步驟如下:該半導(dǎo)體廢水主要分三大類:包括含銅,鎳,錫重金屬廢、含氟離子廢水,其處理工藝流程如下:首先將切割研磨硅片產(chǎn)生的廢水和純水系統(tǒng)反洗及RO濃水,分流單獨處理,重金金屬廢水和含氟離子廢水集中單獨處理后再集中處理,合格達到半導(dǎo)體廢水排放標(biāo)準(zhǔn)再排放;研磨切割廢水單獨處理后合格部分回收利用。有效的解決了現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,大大提高了該工藝效率。
聲明:
“半導(dǎo)體工業(yè)廢水處理技術(shù)及回收利用工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)