本實用新型提供一種廢水深度處理設備。所述廢水深度處理設備包括臭氧反應系統(tǒng)、曝氣生物濾池及超濾系統(tǒng)，所述臭氧反應系統(tǒng)、曝氣生物濾池及超濾系統(tǒng)依次連接。本實用新型提供的一種廢水深度處理設備適用于造紙廢水，混合部分生活污水及其他工廠排水處理，利用臭氧氧化提高其可生化性，有助于后續(xù)生物處理，運用臭氧—曝氣生物過濾的工藝，提高了生化處理效率，水深度處理出水水質(zhì)要求滿足反滲透進水要求。