本發(fā)明公開了一種晶元研磨廢水的回用處理工藝,包括如下步驟:將晶元研磨廢水排入收集槽;收集槽內(nèi)的液體經(jīng)調(diào)節(jié)池進入pH調(diào)整池進行處理;pH調(diào)整池處理后的液體進入混合反應(yīng)池進行處理;混合反應(yīng)池處理后的液體進入絮凝反應(yīng)池進行處理;絮凝反應(yīng)池處理后的液體進入沉淀池進行處理;沉淀池處理后的液體經(jīng)UF給水箱進入砂濾器進行處理;砂濾器處理后的液體進入UF裝置進行處理;UF裝置處理后的液體進入處理水箱待回用。本發(fā)明可對晶元研磨廢水進行有效處理,處理后水質(zhì)滿足生產(chǎn)回用需求,可實現(xiàn)零排放,全回收。
聲明:
“晶元研磨廢水的回用處理工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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