本發(fā)明公開了一種微等離子體反應(yīng)器，包括絕緣筒體、設(shè)置在絕緣筒體底部的氣體噴頭，貫穿設(shè)置在所述的絕緣筒體頂部的頂板且居中設(shè)置在所述的絕緣筒體中部的內(nèi)電極，設(shè)置在所述的頂板上的進氣管，以及設(shè)置在所述的絕緣筒體內(nèi)表面和/或外表面上的催化劑層。同時公開了一種處理裝置和處理方法，本發(fā)明具有以下有益效果：1)由于整個反應(yīng)體系是處在低于40℃的低溫和常壓狀態(tài)，反應(yīng)室占地面積小，因此處理成本低是己有技術(shù)的30％-50％；2)由于等離子體的“剪刀效應(yīng)”，所以有機物降解效率高，比現(xiàn)有技術(shù)的提高60％-85％；3)由于反應(yīng)是在低溫、常壓狀態(tài)下運行，所以工藝簡單，操作方便，容易實現(xiàn)自動化生產(chǎn)；4)不僅處理難降解的有機廢水降解率高，而且對高濃度難降解有機廢水和高含鹽廢水也有較明顯的效果。