本實用新型是光罩清潔裝置,涉及一種以擦拭方式來清潔光罩的裝置,特別是指一種可有效去除附著于光罩任一側(cè)凸緣及于凸緣側(cè)的外框側(cè)邊上微粒子與霧化污漬的光罩清潔裝置;此光罩清潔裝置至少包含光罩升降組、清洗夾頭組、水平位移組、清潔區(qū)及點膠機所組成,可達(dá)成有效且迅速地的去除光罩任一側(cè)上的凸緣及于凸緣側(cè)的外框側(cè)邊上附著的微粒及霧化污漬,并可節(jié)省人工及廢水處理成本及縮短光罩清洗時間,且進(jìn)一步可確保光罩清洗后的潔凈度,以利于提升半導(dǎo)體制程良率。
聲明:
“光罩清潔裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)