本發(fā)明公開(kāi)了一種高催化活性TiXN/Pt復(fù)合膜電極，屬于能源材料制備技術(shù)領(lǐng)域，該復(fù)合膜電極為TiXN/Pt復(fù)合膜，X為金屬M(fèi)o或V或Nb或W過(guò)渡族元素中至少一種；TiXN膜中，Ti含量范圍在16?65.99at％，X元素含量的為0.01?44at％，N元素含量為35?50at％。本發(fā)明公開(kāi)了一種高催化活性TiXN/Pt復(fù)合膜電極及其制備方法，針對(duì)濕法化學(xué)工藝中存在的工藝復(fù)雜、成本高、環(huán)保性差問(wèn)題，以及粉體催化劑不易牢固裝配，氮化鈦粉體和Pt協(xié)同催化有待提高等問(wèn)題，本發(fā)明采用磁控濺射技術(shù)制備多元復(fù)合過(guò)渡金屬氮化物/Pt膜，原材料采用純金屬，制備方法簡(jiǎn)單易行，易規(guī)?；?，無(wú)廢水及廢棄排放，環(huán)保性好；膜材料直接附于基體，不需額外粘連。該發(fā)明很好的工業(yè)化推廣前景，可再燃料電池等鄰域有廣泛應(yīng)用。