本實用新型提供一種從硫酸廢液回收制備電子級硫酸的系統(tǒng),其可通過處理硫酸廢液制取電子級硫酸,提高半導體工業(yè)酸洗廢水的資源利用效果;其包括原料儲罐,原料儲罐依次連接電滲析裝置、預熱器、蒸發(fā)器和分餾柱,分餾柱分別連接硫酸成品儲罐和尾氣處理裝置,分餾柱包括上部的填料柱和下部的套管結(jié)構(gòu),在填料柱和套管結(jié)構(gòu)之間設有中隔,蒸發(fā)器通過加熱器連接形成內(nèi)循環(huán)管路,分餾柱和硫酸成品儲罐之間連接有緩存罐,緩存罐的出口管道還與內(nèi)循環(huán)管路連通。
聲明:
“從硫酸廢液回收制備電子級硫酸的系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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