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四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)和再生方法

761 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 02:52:01

本發(fā)明涉及一種四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)和再生方法。所述系統(tǒng)包括若干送料泵、中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置，所述中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理裝置各至少設有一組，所述中和分離裝置、吸附裝置、陽離子交換裝置、陰離子交換裝置和凈化處理依次通過帶控制閥的料管連接，通過該系統(tǒng)能夠長期穩(wěn)定的循環(huán)再生高純度的四甲基氫氧化銨顯影液，達到節(jié)能環(huán)保的目的，同時降低半導體工廠廢水排放的壓力，為工廠節(jié)約廢水處理的成本，從而達到資源有效循環(huán)利用的目的。

聲明：

“四甲基氫氧化銨顯影廢液再生系統(tǒng)和再生方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)