本實(shí)用新型提供了一種高純正硅酸乙酯用鋼瓶的處理系統(tǒng),包括:鋼瓶;與鋼瓶相連通的高純水儲(chǔ)罐;與鋼瓶相連通的廢水罐;與鋼瓶相連通的離子交換樹(shù)脂儲(chǔ)罐;與鋼瓶相連通的離子交換樹(shù)脂回收罐;與鋼瓶相連通的高純保護(hù)性氣體儲(chǔ)罐;與鋼瓶相連通的超純水儲(chǔ)罐。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型先通過(guò)高純水清洗除去鋼瓶中的顆粒,然后再通過(guò)離子交換樹(shù)脂除去鋼瓶?jī)?nèi)的金屬離子與氯離子,使得離子含量小于0.1ppb,再通過(guò)超純水清洗除去鋼瓶中可能殘留的顆粒,從而使鋼瓶中的金屬離子、水分和顆粒度均達(dá)到最佳水平,以適用于高純正硅酸乙酯充裝。
聲明:
“高純正硅酸乙酯用鋼瓶的處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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