本發(fā)明涉及一種多孔二氧化鈦薄膜的制備方法,包括如下步驟:以空心玻璃微珠作為基體,以Cu-Zn或Cu-Mn合金作為靶材,磁控濺射設(shè)備沉積Cu-Zn或Cu-Mn合金薄膜;采用酸性或堿性溶液進(jìn)行脫合金化處理,后進(jìn)行去離子水清洗至中性,再真空干燥;干燥后包裹多孔銅的玻璃微珠,磁控濺射設(shè)備表面沉積二氧化鈦,制備出多孔二氧化鈦。本發(fā)明制備的多孔二氧化鈦薄膜增大二氧化鈦的表面積,在紫外光照射下有更好的催化性能,可以在廢水處理、空氣凈化及光催化領(lǐng)域有更好的應(yīng)用前景。
聲明:
“多孔二氧化鈦薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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