本發(fā)明公開了一種有毒有害污染氣體治理深度凈化方法及其裝置，該裝置包括等離子體反應(yīng)器、氣動(dòng)乳化塔、生物塔與水循環(huán)系統(tǒng)。等離子體反應(yīng)器的上端出氣口通過氣體管道連接氣動(dòng)乳化塔的進(jìn)氣口，氣動(dòng)乳化塔和生物塔的下方共用循環(huán)水箱；氣動(dòng)乳化塔內(nèi)含有脫水除霧器；水循環(huán)系統(tǒng)是循環(huán)水箱的水經(jīng)過水泵分別通過氣動(dòng)乳化塔、生物塔后回到循環(huán)水箱，循環(huán)使用。有毒有害污染氣體進(jìn)入等離子體反應(yīng)器中初步分解去除，再進(jìn)入氣動(dòng)乳化塔進(jìn)行氣液混合乳化分離凈化，凈化后的氣體經(jīng)脫水除霧后排至大氣中，產(chǎn)生的廢水進(jìn)入生物塔中降解成無害無臭物質(zhì)，實(shí)現(xiàn)水的循環(huán)利用。本發(fā)明避免了因等離子體反應(yīng)器產(chǎn)生的強(qiáng)氧化性O(shè)3對(duì)生物菌活性的影響，無二次污染產(chǎn)生。