基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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可改善設備的工作效率的傳感器單晶硅蝕刻裝置

695 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 03:43:24

本發(fā)明公開了一種可改善設備的工作效率的傳感器單晶硅蝕刻裝置，其結構包括主機體、排氣設備、沖洗設備、電動桿、傳動裝置、排水管、加工倉，所述主機體的頂部設有排氣設備，所述排氣設備通過螺栓和主機體固定連接，所述主機體的左部設有沖洗設備，所述沖洗設備通過連接管與加工倉連接，所述加工倉通過焊接固定在主機體的內部，所述加工倉的底部設有排水管，所述排水管上設有閥門，所述加工倉通過排水管連接至廢水管，可以有效的控制設備的刻蝕時間，防止刻蝕時間或者刻蝕濃度的差異導致的良品率不穩(wěn)定的問題，提高了設備的工作的穩(wěn)定性和可靠性，提高了設備的經濟效益。

聲明：

“可改善設備的工作效率的傳感器單晶硅蝕刻裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)