本發(fā)明公開了一種燃燒水洗式半導(dǎo)體廢氣處理裝置,包括:燃燒冷卻單元、儲液槽及填料洗滌塔;所述燃燒冷卻單元用于處理廢氣,使得廢氣高溫氧化分解產(chǎn)生酸性氣體和中性氣體;所述儲液槽用于吸收部分酸性氣體,并排出廢氣中的固體顆粒;所述填料洗滌塔用于吸收剩余的酸性氣體,并排出中性氣體;本發(fā)明利用甲烷及空氣燃燒產(chǎn)生的高溫燃燒使廢氣在高溫條件下氧化分解,產(chǎn)生的水溶性高溫酸性氣體通過冷卻塔冷卻后,部分酸性氣體進(jìn)入到儲液槽進(jìn)行堿洗中和吸收,同時使廢氣中夾雜的固體顆粒在儲液槽中沉降;剩余的酸性氣體進(jìn)入填料洗滌塔吸收完全,最終使CVD設(shè)備產(chǎn)生的廢氣去除率達(dá)到95%以上,基本滿足排放到工廠排氣管道的要求。
聲明:
“燃燒水洗式半導(dǎo)體廢氣處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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