本發(fā)明公開了一種從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法,ITO靶材磨削后經(jīng)磨削液沖洗產(chǎn)生磨削廢液收集,磨削廢液中包含ITO粉末和磨削輪雜質粉末,磨削輪雜質粉末是無機物粉末;磨削廢液收集后經(jīng)一次過濾和二次分離,得到的混合粉末固體除油進行比重分離得到ITO粉末固體和雜質固體分開,ITO粉末固體水洗后干燥得到ITO粉末。本發(fā)明具有從磨削廢液中回收ITO粉末,磨削廢液采用二次分離的方法,使固液分離機負擔小,能耗降低,同時降低固液分離機的損耗,延長使用壽命的優(yōu)點。
聲明:
“從ITO靶材磨削廢液中回收ITO粉末的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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