本發(fā)明公開了一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法,包括如下步驟:取硅片切削廢液過濾,酸洗濾餅得到廢料;將廢料加入水中,升溫,攪拌保溫,加
浮選溶液,攪拌,靜置,取上層溶液純化干燥得到碳化硅;取下層固體純化干燥得到硅;其中,浮選溶液的原料包括:煤油、十二烷基胺醋酸鹽、十八烯酸鈉、松節(jié)油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纖維素鈉、乙二酸、質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30?36wt%鹽酸水溶液、水。本發(fā)明操作簡(jiǎn)單,能耗低,回收得到的碳化硅和硅的純度高。
聲明:
“硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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