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改良西門子法生產(chǎn)多晶硅中廢棄氯硅烷的回收方法

1146 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 04:31:43

本發(fā)明涉及改良西門子法多晶硅生產(chǎn)中,廢棄氯硅烷的回收方法,屬于多晶硅生產(chǎn)領域。包括以下步驟:1)收集廢棄氯硅烷輸送到儲液罐:2)儲液罐中的廢棄氯硅烷輸送到蒸發(fā)器中;3)蒸發(fā)器加熱:加熱至30-180℃使蒸發(fā)器內(nèi)氯硅烷汽化生產(chǎn)氯硅烷蒸汽,蒸發(fā)器中的殘留液進行水解處理;4)汽化后的氯硅烷蒸汽與濕氣反應,雜質(zhì)反應生成高沸物;5)氣體回收:氣體經(jīng)氣-固分離除去微量固體雜質(zhì),冷凝回收氯硅烷。采用本發(fā)明方法能夠?qū)⑸a(chǎn)過程中被污染的和雜質(zhì)含量高的氯硅烷雜質(zhì)去除,達到改良西門子法生產(chǎn)多晶硅工藝中氯硅烷原料雜質(zhì)含量要求,且成本低、環(huán)保,不需額外設備。

聲明：

“改良西門子法生產(chǎn)多晶硅中廢棄氯硅烷的回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)