本發(fā)明公開了顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用方法及裝置,所述裝置依次包括有一廢液收集槽、第一過濾裝置、一納濾裝置、第一調(diào)節(jié)槽、第二調(diào)節(jié)槽、第二過濾裝置,所述裝置依次通過帶有控制閥的物料管線連接,顯影廢液通過第一過濾裝置去除固體雜質(zhì),廢液中光阻劑通過納濾裝置去除,濾液進(jìn)入第一調(diào)節(jié)槽調(diào)節(jié)進(jìn)行收集,納濾二次廢液收集進(jìn)入第二調(diào)節(jié)槽沉淀光阻劑后過濾去除光阻劑進(jìn)入第一調(diào)節(jié)槽進(jìn)行收集,第一調(diào)節(jié)槽內(nèi)溶液經(jīng)過調(diào)節(jié)后進(jìn)入蒸發(fā)濃縮裝置進(jìn)一步濃縮,溶液進(jìn)入陽離子交換樹脂柱去除金屬離子,再進(jìn)行陰離子交換樹脂柱得到高純TMAH水溶液。此方法TMAH回收率高,可連續(xù)生產(chǎn),過程節(jié)能環(huán)保,易于推廣使用。
聲明:
“顯影廢液中四甲基氫氧化銨回收利用方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)