本發(fā)明提供了一種硅片切割廢砂漿中液體的回收循環(huán)再生利用工藝,首先將硅片切割廢砂漿原料進(jìn)行固液分離,分離出固體碳化硅(SIC)和液體聚乙二醇(PEG)兩塊;其中液體聚乙二醇經(jīng)過過濾、脫色、脫水、純化、調(diào)配、包裝等流程可從每噸廢砂漿中可提純45%的符合硅片切割要求的聚乙二醇液體(切削液)。本發(fā)明能夠及時(shí)處理硅片切割廠家所產(chǎn)生的砂漿廢料,回收的聚乙二醇可直接供切割廠家循環(huán)使用,具有較好的經(jīng)濟(jì)與社會(huì)效益,為節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)做出貢獻(xiàn)。
聲明:
“硅片切割廢砂漿中液體的回收循環(huán)再生利用工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)