本發(fā)明涉及一種從硅片切割生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢切割液中,回收切割液的精制辦法。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,所述從硅片切割生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢切割液中回收切割液的方法,包括如下步驟:步驟一,分離固體份,在分離設(shè)備中去所述除廢切割液中的固體份;步驟二,精密過濾,將去除了固體份后的廢切割液送入精密過濾器;步驟三,膜分離,利用水泵使經(jīng)過精密過濾后的廢切割液通過分子量在50000-7000000MW的過濾膜;步驟四,離子交換,將經(jīng)過膜分離后的廢切割液通過離子交換設(shè)備;步驟五,蒸發(fā)濃縮脫水,經(jīng)過離子交換后的廢切割液送入濃縮設(shè)備內(nèi),形成可回用的切割液。本發(fā)明可以有效解決目前切割液回收行業(yè)中存在的固液分離困難、回收液純度不高,回收收率較低等普遍問題。