本發(fā)明公開一種
多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的排殘裝置,包括:排殘管路,包括主管路,主管路上設(shè)有廢液入口和廢液出口。排殘管路的主管路上設(shè)置有排殘加壓泵、換熱器以及過(guò)濾單元,排殘加壓泵用于將廢液從廢液入口吸入排殘管路,換熱器位于排殘加壓泵的下游。過(guò)濾單元包括第一過(guò)濾器和第二過(guò)濾器,第一過(guò)濾器位于廢液入口和排殘加壓泵之間,第二過(guò)濾器位于換熱器與廢液出口之間。主管路的一段為U型管道,U型管道設(shè)置于換熱器與廢液出口之間,U型管道的入口和出口處于第一水平面,U型管道的底部處于第二水平面,第一水平面高于第二水平面,第二過(guò)濾器設(shè)置于U型管道的底部。本排殘裝置能夠有效地過(guò)濾廢液中的固體雜質(zhì),以避免排殘管路堵塞。
聲明:
“多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的排殘裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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