本發(fā)明公開了一種利用電選從硅晶體切割液中回收
多晶硅材料的方法,所述方法是將從硅切削液中回收的廢砂漿進(jìn)行過濾、清洗、烘干后,放置在電選機(jī)中,利用硅粉與其中的其它固體雜質(zhì)如碳化硅、金剛石的介電系數(shù)的區(qū)別進(jìn)行電選分離,將分離所得到的硅進(jìn)行熔化。本發(fā)明用于回收硅晶體切割液中的硅粉,用于制作多晶硅材料。
聲明:
“利用電選從硅晶體切割液中回收多晶硅材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)