本發(fā)明公開(kāi)了一種
多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中副產(chǎn)物的再利用方法,以多晶硅副產(chǎn)物為原料,通過(guò)采用不同的
儲(chǔ)能物質(zhì),制備不同溫度的系列相變
儲(chǔ)能材料,將氣化的副產(chǎn)物在常溫下與聚乙二醇水溶液中的水發(fā)生水解反應(yīng),溶膠-凝膠反應(yīng),生成氯化氫和三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的二氧化硅凝膠,包覆有相變儲(chǔ)能材料的二氧化硅凝膠經(jīng)旋風(fēng)干燥器烘干后制得相變儲(chǔ)能材料產(chǎn)品,氯化氫經(jīng)鹽酸溶液氯化鈣提濃解析和四氯化硅淋洗塔除水,制得含水量小于0.05%的氯化氫,直接進(jìn)入多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)用于制備三氯氫硅,與四氯化硅氫化技術(shù)配套使用,形成多晶硅生產(chǎn)物料的全閉路循環(huán)和副產(chǎn)物的全資源化,實(shí)現(xiàn)多晶硅生產(chǎn)的“
固廢和廢氣”的趨零排放和清潔生產(chǎn)。
聲明:
“多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中副產(chǎn)物的再利用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)