本發(fā)明公開了一種
多晶硅鑄錠爐保護氣循環(huán)系統(tǒng),進氣管的出口處設置有螺旋槳,石墨護罩上設置有排氣孔,排出的尾氣經集氣罩集氣后通過排氣管排出至爐體外部,并導入至吸收器內的吸收液內,且吸收器具有攪拌器用于攪拌吸收液;經吸收后的尾氣經干燥器干燥后導入至尾氣回收罐,并通過進氣管及螺旋槳循環(huán)進入石墨護罩腔室內。該發(fā)明使得保護氣形成有效的螺旋流動并帶動硅液流動而有效排出雜質,廢氣經集氣后排出至吸收器進行吸收一氧化碳,凈化后的保護氣經干燥后進入回收罐以重復使用,有效避免了一氧化碳氣體進入大氣而導致危害發(fā)生,且凈化后的保護氣可以重復回收使用而降低了使用成本。
聲明:
“多晶硅鑄錠爐保護氣循環(huán)系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)