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太陽能電池硅片的清洗方法

786 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 05:46:55

本發(fā)明公開了一種太陽能電池硅片的清洗方法，包括步驟：采用臭氧水溶液對硅片進行浸泡清洗，使硅片表面產生氧化層；采用氫氟酸溶液對硅片進行表面腐蝕處理；對硅片進行漂洗。本發(fā)明清洗方法先以臭氧水溶液對硅片進行浸泡清洗，能夠有效地氧化硅片表面沾污的有機物污質，并氧化硅片表面形成氧化膜；然后通過氫氟酸溶液對硅片進行腐蝕清洗，去除表面的金屬污質，并腐蝕掉表面的氧化膜，在腐蝕掉表面氧化膜的同時去除了表面污質，從而實現(xiàn)對硅片表面的清洗。本發(fā)明清洗方法中采用臭氧水溶液，臭氧水溶液與表面有機物污質反應產生CO2和H2O，對人體無危害性，且臭氧水溶液產生的廢液對環(huán)境污染小，不需要進行特殊處理。

聲明：

“太陽能電池硅片的清洗方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)