一種
多晶硅尾氣噴淋塔,包括塔體,塔體上設(shè)置有進氣口、出氣口、出液口,一噴淋管穿過塔體置于噴淋腔中上部,所述噴淋管末端還設(shè)置有葉片式湍流發(fā)生器,本實用新型中,噴淋液經(jīng)噴淋管至葉片式湍流發(fā)生器產(chǎn)生湍流,使得噴淋液噴淋均勻(產(chǎn)生的湍流與進氣口的廢氣充分混合),同時也加長了水與三氯氫硅等氣體接觸的時間,使得三氯氫硅等氣體水解更充分,大大提高了工作效率,克服了堵管情況的發(fā)生,降低爆管等危險事故的發(fā)生。
聲明:
“多晶硅尾氣噴淋塔” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)