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一種芯片性能檢測探針臺

956   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 06:22:14
本實用新型公開了一種芯片性能檢測探針臺，探針臺底座上設置第一XY位移絲桿，升降旋轉模組包括升降臺、角度旋轉臺和樣品臺，樣品臺設置在角度旋轉臺上，角度旋轉臺設置在升降臺上，升降臺固定在升降第一XY位移平臺上以帶動升降旋轉模組在探針臺底座的X軸和Y軸移動；探針組件包括探針以及固定定位探針的探針定位器，探針定位器設置在探針臺底座上，探針臺底座上還設置龍門架，龍門架上設置第二XY位移平臺，相機和顯微鏡通過固定板連接第二XY位移平臺以使得能夠沿龍門架的X軸和Y軸移動。本實用新型可以實現(xiàn)被測試樣品的精密位置移動，可以讓顯微鏡XY軸精密移動，通過樣品臺和顯微鏡的配合，快速精準的找到芯片樣品被測點快速完成測試。
聲明：
“一種芯片性能檢測探針臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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