本實(shí)用新型提供一種電熱性能檢測(cè)系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括信號(hào)發(fā)生器、高壓放大器、變溫臺(tái)、熱探針、原子力顯微鏡主控器、探針信號(hào)控制器和信號(hào)采集與處理器。所述方法包括以下步驟：通過變溫臺(tái)對(duì)熱探針進(jìn)行標(biāo)定；高壓放大器提供電壓對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行電熱激勵(lì)；熱探針感知待測(cè)樣品的溫度變化，并以電信號(hào)輸出；探針信號(hào)控制器對(duì)熱探針輸出的電信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，并由信號(hào)采集與處理器進(jìn)行采集；信號(hào)采集與處理器根據(jù)采集到的電信號(hào)和標(biāo)定數(shù)據(jù)得到待測(cè)樣品的溫度變化情況，再結(jié)合待測(cè)樣品上施加的電壓，獲得其電熱性能參數(shù)。本實(shí)用新型能對(duì)材料微觀和宏觀電熱性能進(jìn)行直接測(cè)量，且準(zhǔn)確度高，適用性廣。