一種光波導(dǎo)微透鏡陣列的制備及光學(xué)性能檢測(cè)方法,先制備光刻膠微透鏡陣列,將聚二甲基硅氧烷與固化劑混合倒入光刻膠微透鏡陣列,固化剝離后得到凹透鏡陣列反模具;然后將凹透鏡陣列反模具覆于加熱的SU?8表面并快速壓印,冷卻剝離后得到SU?8微透鏡陣列;再用紫外光直接照射SU?8微透鏡陣列,制得光波導(dǎo)微透鏡陣列;然后在熒光觀察狀態(tài)下,在激光共聚焦顯微鏡中選擇熒光染料,設(shè)置掃描深度和掃描步長(zhǎng)得到光波導(dǎo)微透鏡陣列的光路傳輸三維熒光圖像,通過分析聚焦光斑的分布面積,判斷是否在SU?8微透鏡陣列內(nèi)誘導(dǎo)出了光波導(dǎo)結(jié)構(gòu);最后對(duì)光波導(dǎo)微透鏡陣列進(jìn)行光學(xué)性能評(píng)估:本發(fā)明實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)微透鏡陣列的制備,并對(duì)光波導(dǎo)微透鏡陣列光學(xué)性能提供檢測(cè)與評(píng)估。
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“一種光波導(dǎo)微透鏡陣列的制備及光學(xué)性能檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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