2涂層的制備方法,物理檢測"> 2涂層的制備方法,本發(fā)明公開了一種CrB2涂層的制備方法。采用直流磁控濺射法,設(shè)計靶源磁場由位于靶面底部的環(huán)形磁鐵與直線型磁鐵組成,通過對靶源磁場的設(shè)計,使靶面不同位置具有不同的磁場強度,并對應(yīng)的放置一系列樣品,在各樣品表面沉積CrB2涂層,然后對各涂層進行性能檢測,得到與所需CrB2涂層性能最接近的CrB2樣品涂層,該樣品在樣品架上的放置位置即為待沉積基體的放置位置,從而實現(xiàn)所需性能涂層的制備。">
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