本發(fā)明提供一種光刻機(jī)投影物鏡像方視場的在線測量裝置及測量方法,屬于投影光刻性能檢測領(lǐng)域,旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中由于投影物鏡像方視場較大、沒有足夠大尺寸的探測器直接在線測量的技術(shù)問題,其中,所述在線測量裝置包括探測器、掩模板、掩模臺(tái)和工件臺(tái),所述掩模板的中心具有長方形孔,在線測量時(shí),光束將掩模板的長方形孔經(jīng)所述投影物鏡成像到像面處,所述探測器探測所述像面處的成像,所述在線測量裝置及所述測量方法基于掩模板標(biāo)記成像的方式,解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的投影物鏡像方視場較大、沒有足夠大尺寸的探測器進(jìn)行直接測量的問題,實(shí)現(xiàn)了投影物鏡集成后像方視場的在線測試,且測量速度快、易于推廣應(yīng)用。
聲明:
“光刻機(jī)投影物鏡像方視場的在線測量裝置及測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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