本發(fā)明提供一種衍射光學(xué)元件檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法,屬于衍射光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,包括光源,以及沿光源出射方向依次設(shè)置的錐光鏡和圖像采集器,所述錐光鏡包括傅里葉變換透鏡組,衍射光學(xué)元件設(shè)置于所述光源和所述錐光鏡之間,且位于所述錐光鏡的焦點(diǎn)位置;還包括控制器,所述圖像采集器采集通過(guò)所述衍射光學(xué)元件和所述錐光鏡后形成的衍射圖像并發(fā)送給所述控制器,所述控制器對(duì)所述衍射圖像進(jìn)行處理分析以得到所述衍射光學(xué)元件的光學(xué)性能。衍射光學(xué)元件檢測(cè)系統(tǒng)可以有效的消除不同衍射級(jí)之間的位置畸變和光斑的變形、拉伸等現(xiàn)象,可有效的提供衍射光學(xué)元件性能檢測(cè)的精度。
聲明:
“一種衍射光學(xué)元件檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)