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一種基于微懸臂陣列傳感技術的微納光控致動器的制備及檢測方法

912 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:28:24

本發(fā)明涉及一種基于微懸臂陣列傳感技術的微納光控致動器的制備及檢測方法。包含以下三個步驟：利用毛細管將光響應材料涂覆到微懸臂梁陣列上，其中第一根懸臂梁為對照組，第二根至第八根微懸臂梁修飾有不同濃度的光響應材料；通過紫外光和可見光光源對光響應材料的交替照射，使其發(fā)生光致異構化，導致微懸臂梁發(fā)生彎曲，實現(xiàn)光控致動器的制備；通過激光照射在微懸臂梁陣列自由端上，反射的光線在光電位置敏感探測器上形成光斑，微懸臂梁的彎曲會導致光斑發(fā)生位移，通過對光斑的位移檢測實現(xiàn)對微梁表面應力的檢測。充分利用微懸臂梁的微米級尺寸、實時、可以痕量檢測應力等優(yōu)點，結合光響應材料光致異構特點，實現(xiàn)微納光控致動器的制備及性能檢測。

聲明：

“一種基于微懸臂陣列傳感技術的微納光控致動器的制備及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)