本實用新型涉及一種基于電容法測量氣膜間隙內(nèi)氣體密度的測試裝置,屬于精密設備性能檢測領(lǐng)域。本實用新型包括隔振平臺、大理石支撐臺面、空氣靜壓軸承Ⅰ、空氣靜壓軸承Ⅱ、壓力傳感器、傳感器支架、微位移傳感器、支架、氣缸、節(jié)流閥、空氣靜壓軸承進氣管、壓力調(diào)節(jié)閥、壓力表和空氣壓縮機。本實用新型裝置簡單,只需要額外添加微位移傳感器、電容測量儀以及微力傳感器;模型簡化,容易理解,數(shù)據(jù)處理量小,簡單方便;便于實現(xiàn)不同的氣膜厚度的調(diào)節(jié),通過氣膜厚度變化對電容的影響,從而利用所測得的電容變化計算出氣膜間隙內(nèi)氣體密度,可通過多次測試將氣膜間隙內(nèi)氣體密度測量出來,可靠性高且易于實現(xiàn);儀器應用普遍,成本低。
聲明:
“一種基于電容法測量氣膜間隙內(nèi)氣體密度的測試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)