本實(shí)用新型提供一種晶圓級(jí)微透鏡陣列的測(cè)試結(jié)構(gòu)及其測(cè)試裝置，測(cè)試結(jié)構(gòu)包括：晶圓放置組件和透光組件；晶圓放置組件包括外支撐環(huán)以及鏤空區(qū)域，用于放置形成有微透鏡陣列單元的待測(cè)晶圓，外支撐環(huán)邊緣具有缺口且包含限位邊界和放置臺(tái)階；透光組件，位于晶圓放置組件的一側(cè)表面，正對(duì)鏤空區(qū)域設(shè)置，邊緣固定于外支撐環(huán)。測(cè)試結(jié)構(gòu)用于將待測(cè)晶圓放置于鏤空區(qū)域，光源透過透光層產(chǎn)生具有測(cè)試圖形光場(chǎng)，檢測(cè)待測(cè)晶圓上微透鏡的解析力和漏光等性能。測(cè)試裝置通過測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行微透鏡性能檢測(cè)，將拍攝到的待測(cè)晶圓的測(cè)試圖像與標(biāo)準(zhǔn)圖像比較，獲得測(cè)試結(jié)果，并根據(jù)測(cè)試結(jié)果輸出測(cè)試圖譜，定位有缺陷的微透鏡陣列單元的位置。