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一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法

1088   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:31:24
本申請公開了一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法,所述轉(zhuǎn)移裝置包括:轉(zhuǎn)移基板,所述轉(zhuǎn)移基板包括自所述轉(zhuǎn)移基板的至少一表面凸起的多個探針;控制電路,與多個所述探針連接,用于控制多個所述探針進行作業(yè),多個所述探針獨立吸附或者釋放選定的微元件。通過上述方式,本申請能夠在批量轉(zhuǎn)移過程中實現(xiàn)對每一顆微元件進行單獨操作。
聲明:
“一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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